高产能microCELL系统
3D-Micromac将展出用于半电池切割的microCELL热激光切割工艺(TLS)系统。同时还推出第二代microCELLOTF系统,该系统用于高效率“钝化发射极及背局域接触”(PERC)太阳能电池的“激光接触开口”(LCO)。
这一业界验证的microCELLOTF系统可以在背面钝化多晶硅和单晶硅太阳能电池上生成选择性开口,以便太阳能电池吸收更多的光线。这一全新推出的第二代系统可实现每小时逾8,000块晶片的超高生产率,其产能不仅是上一代microCELLOTF系统的两倍,同时也远超其他竞争解决方案。这一优势得益于双线晶片处理以及实时激光加工技术。
由于单激光工序的产能现在可与生产线中其他工序的产能相匹配,该新一代工具便可满足客户的双线或三线金属化机械设备内联集成的需求,从而确保激光加工不再成为物料流中的瓶颈环节。
除PERC以外,该工具还可用于激光掺杂选择性发射极技术。